スチールプレートタイプ・スチールプレートTタイプは、ベースと真空カップの多様な組み合わせが可能で、 ベースには150mm間隔でバルブを設置したクワッドベース用と、75mm間隔でバルブを用意したモノベース用の2種類を用意
高さ精度は、スチールプレート/スチールプレートTタイプはプレートから真空カップ上面まで±0.15mm、真空クランプシステムISBL-Tタイプはプレートから真空ブロック上面まで±0.06mmと高精度